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SU-8等離子去膠機(jī)

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北京杰能達(dá)機(jī)電設(shè)備有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號

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品牌：

北京杰能達(dá)

型號：

SU-8等離子去膠機(jī)

關(guān)注度：

363

產(chǎn)品介紹

用于去除SU-8這樣的厚光組層

還可以用于各向同性材料蝕刻，例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等

不受離子腐蝕的純化學(xué)腐蝕

集成RPS源（遙控/自由基等離子源）

等離子區(qū)域水冷

基板超低熱負(fù)荷

腐蝕速率高（很大范圍內(nèi)不低于200μm/h）

基板尺寸可達(dá)460mm x 460mm

產(chǎn)品咨詢

SU-8等離子去膠機(jī)

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