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6吋電阻法碳化硅晶體生長設(shè)備 UK-T6

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蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司

江蘇

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蘇州優(yōu)晶

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6吋電阻法碳化硅晶體生長設(shè)備 UK-T6

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產(chǎn)品介紹

電阻法碳化硅晶體生長設(shè)備UK-T6

1、**解決了感應(yīng)爐徑向溫度梯度大的技術(shù)難點，可實現(xiàn)徑向溫度梯度小和軸向溫度梯度可控，晶體內(nèi)部缺陷少，良率高、重復(fù)性好；

2、與傳統(tǒng)工藝長達(dá)7-14天的晶體生長周期相比，UKING ERH SiC RV4.0設(shè)備晶體生長速度更快，整個過程可控制在7天之內(nèi)；

3、自動化程度高，操控簡單，有利于批量生產(chǎn)，提高晶體生長效率和穩(wěn)定性。

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6吋電阻法碳化硅晶體生長設(shè)備 UK-T6

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