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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— A型

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成都華宇東升微波設(shè)備有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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面議

品牌：

華宇東升

型號(hào)：

微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— A型

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293

產(chǎn)品介紹

微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng)

—— A型

一款典型的微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置，可以在50mm直徑的襯底范圍內(nèi)進(jìn)行金剛石單晶和多晶生長(zhǎng)。

應(yīng)用領(lǐng)域：工具、熱沉、光學(xué)窗口、寶石等。

性能特點(diǎn)：

?**功率達(dá)到6kW

?微波反應(yīng)腔新型設(shè)計(jì)，功率密度大

?產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高

?采用水冷全金屬腔體

?采用高效散熱的樣品臺(tái)

?設(shè)備安全性高、耐用性高、可靠性強(qiáng)

?多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，PLC屏幕控制，簡(jiǎn)捷的人機(jī)交互界面

主要技術(shù)參數(shù)：

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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— A型

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