粉體行業(yè)在線展覽
全自動數(shù)控滾磨機
面議
連強智能
全自動數(shù)控滾磨機
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加工晶棒直徑: | 6-8英寸/12英寸 |
加工晶棒長度: | 100~600mm/150-450mm |
橢圓度: | ≤0.06mm |
圓錐度: | ≤0.06mm |
直徑精度: | ±0.06mm |
表面粗糙度: | Ra≤1 μm |
OF寬度: | ±0.1 mm |
晶向精度: | <±6' |
V-NOTCH深度: | 1.0~1.5m |
V-NOTCH角度: | m89°~93°(可定制) |
頂端R角形狀: | R0.9~0.94mm (可定制) |
設備外形尺寸: | 4900x2810x2350mm |
設備總功率: | 30 kW |
設備自重: | 10.5t |
可滿足6~8" / 12“硅棒加工;
加工長度: 600/450mm
硅棒晶向檢測,滾圓,OF面,V-NOTCH槽可實現(xiàn)全自動磨削;
單機可實現(xiàn)全自動化加工;可以實現(xiàn)自動上下料,自動對中,自動檢測,自動加工等功能;
控制系統(tǒng)為歐姆龍系統(tǒng);
整機配置自動潤滑系統(tǒng);
在光伏行業(yè)成熟的磨床結構基礎上優(yōu)化設計,專門用于半導體行業(yè)硅棒磨削;
整體式一體焊接底座;
夾具及輸送機構位于設備上方,有利于設備防護及后期維護保養(yǎng);
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
Gasboard-2060
定制
Pentagon Qlll
HSE系列等離子刻蝕機