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熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450

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北京泰科諾科技有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

北京泰科諾

型號(hào)：

熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450

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產(chǎn)品介紹

設(shè)備名稱：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備

設(shè)備型號(hào)：HF450

真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷

真空腔室尺寸：Φ450mmxH500mm

真空系統(tǒng)：復(fù)合分子泵高真空系統(tǒng)

基片臺(tái)尺寸：Φ100mm

襯底溫度：600 ～ 1100℃

電源：專用熱絲電源 400A, 恒流或恒功率模式

氣路控制：4 路氣體流量控制

控制方式：PLC 觸摸屏控制

占地面積：主機(jī) L1200mm×W1060mm×H1900mm

總功率：≥ 20kW

產(chǎn)品咨詢

熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450

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