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臥式LPCVD

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直接聯(lián)系

賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

賽瑞達(dá)

型號：

臥式LPCVD

關(guān)注度：

78

產(chǎn)品介紹

設(shè)備主要特點

◎ 采用先進(jìn)的閉環(huán)控制系統(tǒng)，壓力穩(wěn)定無波動

◎ 高精度溫控系統(tǒng)

◎ 工藝薄膜均勻性優(yōu)異

★支持SECS/GEM通訊

主要技術(shù)指標(biāo)

◎ 適用硅片尺寸:4~6"

◎ 工作溫度范圍:350℃~800℃

◎ 恒溫長度:300-1100mm(可定制)



產(chǎn)品咨詢

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臥式LPCVD - 78
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