97&

RSV系列半導(dǎo)體

直接聯(lián)系

蘇州銳昇聚創(chuàng)科技有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

銳昇聚創(chuàng)

型號：

RSV系列半導(dǎo)體

關(guān)注度：

產(chǎn)品介紹

RSV系列

專為半導(dǎo)體中等，嚴(yán)苛制程使用抽氣速率：75-3000m3/h

采用一體型螺桿式設(shè)計，獨(dú)特的軸承設(shè)計，極寬泛的溫度控制范圍50-125攝氏度，可采用特殊高鎳材質(zhì)。

適應(yīng)于大量粉塵，高腐蝕的半導(dǎo)體工藝制程

項目機(jī)型		單位	RSV100	RSV200	RSV700	RSV1200	RSV1800	RSV3000
抽氣速率 Pumpspeed50/60)		L/min	1666	3333	11666	20000	30000	50000
		M3/H	100	200	700	1200	1800	3000
極限壓力 UItimoate Pressure		Torr	75×103		Z5×10?
		mbar	1×10~2		1×103
		Pa	1		1×10-
馬達(dá) Motor	顏定功率 Rated power	KW	4	5.5	6.2	8	8	15
	底壓功率 Uitimate Pressure Power	KW	2.5	3	3.2	3.5	4	11
管路連接 Connection	入氣口 Inlet		KF50	KF50	ISO100	SO100	ISO160	ISO200
	出智		KF40	KF40	KF40	KF40	KF50	KF50
冷卻水 Cooing water	* 低	L/MIN	3				5
	**壓力 MaxPressure	kg/cm3	4
	等rer	kg/cm3	1
	濕度 Temp	℃	10-40
	ection		PT 3/8
氮?dú)?/span> ( 選配 ) N2	eure	Mpa	0.05-0.2
	流量 How	slm	6-10(Sealing gas) 0-50(Dilute)注
	necten		Swagelok 1/4”
尺寸Dim	芒×案×高	mm	940×400×503	1192×444×650	900×400×744	1050×444×86	090×444×895	1150×460×560
重量Weight		kg	270	330	380	555	730	710

久久综合久久美利坚中国_中曰韩无码视频_久久97久久97精品免视看_黄网址免费永久在线观看免费