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主要特點(diǎn)：

▏In-Feed磨削方式。

▏精密進(jìn)口滾珠絲桿、直線導(dǎo)軌，Z向精密控制， 高精度

機(jī)臺長時間保持。

▏ 全自動上下料、傳輸定位、清洗 干燥，實(shí)現(xiàn)全自動運(yùn)行

模式，大大降低OP工作量。

▏ 穩(wěn)定的超薄減薄加工。

▏ 雙主軸，三工作盤，加工效率高?？赏瑫r進(jìn)行粗精磨加工

▏ 兼容性好，與市面上的其他類型設(shè)備，關(guān)鍵耗材兼容性高。

▏ 便捷的操作與人機(jī)交互界面

先進(jìn)功能：

? 超薄晶圓加工及傳輸功能；
? 工作臺自動清洗功能；
? 實(shí)時高精度接觸式晶圓測厚功能；
? 操作日志記錄功能；
? 二流體清洗功能；
? 真空預(yù)警與真空管路去水功能；
? 主軸磨削力實(shí)時監(jiān)測功能；
? 適應(yīng)不同尺寸，可選加工多種規(guī)格；
? *工廠自動化模塊；

? *軟件定制。

? 可用于殘片的減薄

? 具有磨輪研磨牙齒突出量計算并報警程序

? 具有多項安全與保護(hù)功能，設(shè)備前后面配備至少一個EMO緊急停止按鈕