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全自動晶圓開槽/全切設(shè)備

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江蘇元夫半導(dǎo)體科技有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

江蘇元夫

型號：

全自動晶圓開槽/全切設(shè)備

關(guān)注度：

141

產(chǎn)品介紹

設(shè)備特點

適合用于Low-k、氮化鋁（AlN）、氧化鋁陶瓷等材料的激光開槽

適合用于硅、砷化鎵（GaAs）等材料，厚度200μm以下薄晶圓無崩邊高品質(zhì)全切

8/12英寸兼容，支持納秒/皮秒

雙路多beam并行加工

實現(xiàn)10-90μm開槽寬度連續(xù)可調(diào)

可加工20μm以內(nèi)超窄切割道

整機精度：＜±2μm

產(chǎn)品咨詢

全自動晶圓開槽/全切設(shè)備

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