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弗萊貝格DDCOM（臺(tái)式X射線晶體定向儀）采用Omega掃描方法，可以進(jìn)行超高速的晶體定向測(cè)量，用于確定各種晶體的取向。

技術(shù)特點(diǎn)▼

l 方便快捷的晶圓檢測(cè)

l 用于科研 & 研發(fā)，小型實(shí)驗(yàn)工廠

l 適用多種可測(cè)量材料

l 重量輕、成本低

l 手動(dòng)處理樣品

工作原理▼

從樣品臺(tái)底部測(cè)量

- 用于晶錠、晶圓、芯片的檢測(cè)

- 控制切割、研磨、拋光等過程

超高速Omega掃描方法▼

l 比Theta掃描方法快200倍

l 自動(dòng)評(píng)估三維完整的晶格方向

l 在5秒內(nèi)測(cè)定整個(gè)晶體的方位

緊湊，用戶友好和成本效益▼

l 易于移動(dòng)和輕量級(jí)的桌面設(shè)計(jì)

l 樣品處理方便，操作方便

l 空氣冷卻x射線管能耗低，運(yùn)行成本低(無需水冷)

有效的質(zhì)量控制流程▼

l 用于標(biāo)準(zhǔn)研究和工業(yè)工作流程

l 晶體方位設(shè)定及標(biāo)示

l 預(yù)編程立方晶體參數(shù)

l 先進(jìn)方便的軟件

l 精度高，例如高至(1/100)°

控制切割、研磨和拋光▼

l 單晶的完全晶格取向

l 適用于各種尺寸和重量范圍大的獨(dú)特材料，如：2-12英寸的晶圓片和20公斤以下的晶錠

技術(shù)參數(shù)▼