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膜厚測試儀

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香港電子器材有限公司

美國

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621

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美國 Filmetrics

美國Filmetrics公司出品的F20 膜厚測量儀,可快速簡便的測量透光薄膜的光學(xué)參數(shù)(n,k值),可在幾秒內(nèi)測量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚,折射率參數(shù)。

軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統(tǒng)的電腦連接。軟件的數(shù)據(jù)庫預(yù)存100種以上材料的基本信息,利用這些已存信息可以測量多層結(jié)構(gòu),用戶還可以通過擬合測量將新材料的光學(xué)系數(shù)存入系統(tǒng)以備今后應(yīng)用。

測量條件:

薄膜:平整,半透明,吸光薄膜。例如:SiO2 SiNX DLC、光刻膠、多晶硅無定形硅,硅片;

基底層:平整,反射基底。如需測量光學(xué)系數(shù),則需要平整鏡面反射基底,如果基片是透光的,基片背面需要做反光處理。可用基底例如:硅片 玻璃 鋁、GaAs 鋼 聚碳酸脂、聚合物薄膜

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膜厚測試儀

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