粉體行業(yè)在線展覽
垂直鍍膜機
面議
杰萊特
垂直鍍膜機
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2)控制精度
a)靶材旋轉(zhuǎn):0.005°
b)工件旋轉(zhuǎn): <1000RPM
c)編碼器Encode: 12000lines;480000Counts/rev
d)膜厚修正板:0.005°
e)擋板: position switch
3)光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS
a) 波長范圍:380nm~1650nm
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
Gasboard-2060
HSE系列等離子刻蝕機