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水平離子鍍膜機(jī)

直接聯(lián)系

杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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面議

品牌：

杰萊特

型號(hào)：

水平離子鍍膜機(jī)

關(guān)注度：

342

產(chǎn)品介紹

型號(hào)：IBSH-1030

特點(diǎn)：

1、基板水平放置，垂直監(jiān)控；

2、靶材左右移動(dòng)，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監(jiān)控。

6、無(wú)膜厚分布修正板

工藝參數(shù)：

一，真空系統(tǒng)

1、極限真空度：4.0×10-5Pa

2、抽至10Pa所用時(shí)間：≦ 10 分鐘

3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1、靶材旋轉(zhuǎn)：0.005°

2、工件旋轉(zhuǎn):<1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板：0.005°

5、擋板: position switch

三，光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS

1、波長(zhǎng)范圍：380nm～1650nm

2、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%

3、波長(zhǎng)分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm

4、波長(zhǎng)準(zhǔn)確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm

杰萊特?fù)碛?*的真空鍍膜技術(shù)，已申請(qǐng)多項(xiàng)zhuanli。產(chǎn)品類型包括離子濺射鍍膜機(jī)、電子槍蒸發(fā)鍍膜機(jī)、高精度光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)等，同時(shí)承攬鍍膜機(jī)設(shè)備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務(wù)等業(yè)務(wù)。

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水平離子鍍膜機(jī)

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