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型號(hào)：IBSH-1030

特點(diǎn)：

1、基板水平放置，垂直監(jiān)控；

2、靶材左右移動(dòng)，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監(jiān)控。

6、無膜厚分布修正板

型號(hào)：IBSH-1030

特點(diǎn)：

1、基板水平放置，垂直監(jiān)控；

2、靶材左右移動(dòng)，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監(jiān)控。

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型號(hào)：IBSH-1030

特點(diǎn)：

1、基板水平放置，垂直監(jiān)控；

2、靶材左右移動(dòng)，位置和速度可編程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換；

5、多光路監(jiān)控。

6、無膜厚分布修正板