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SSB300系列步進(jìn)光刻機(jī)

SSB300系列步進(jìn)光刻機(jī)

直接聯(lián)系

上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

上海微電子

型號(hào):

SSB300系列步進(jìn)光刻機(jī)

關(guān)注度:

519

產(chǎn)品介紹

  產(chǎn)品特征

高產(chǎn)率

SSB320和SSB380機(jī)型可提供53.5mm×33mm超大曝光視場(chǎng),并配置了高速傳輸系統(tǒng)、高速高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)和高照度照明系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)率,顯著降低客戶(hù)擁有成本。

高分辨率

SSB300系列光刻機(jī)提供多種投影物鏡配置,分辨率可達(dá)到0.8~2μm,并具有大焦深和高線(xiàn)寬均勻性等特點(diǎn),在大規(guī)模量產(chǎn)中有效提升產(chǎn)品良率。

高精度套刻

SSB300系列光刻機(jī)擁有高精度MVS對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度工件臺(tái)定位系統(tǒng)和低畸變投影物鏡,保證了高精度套刻性能。其中對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)支持特征圖形標(biāo)記和光柵標(biāo)記,并可選配紅外或可見(jiàn)光背面對(duì)準(zhǔn)方式,滿(mǎn)足客制化需求。

工藝適應(yīng)性強(qiáng)

采用獨(dú)特的在線(xiàn)Mapping技術(shù),快速準(zhǔn)確地?cái)M合出基底面型,可有效增大工藝窗口。提供選配可變狹縫,可實(shí)現(xiàn)一塊掩模分為多個(gè)區(qū)域曝光,降低工藝研發(fā)費(fèi)用,且與Aligner匹配時(shí)不增加額外芯片損失。


產(chǎn)品咨詢(xún)

SSB300系列步進(jìn)光刻機(jī)

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