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MDPspot單點(diǎn)壽命檢測(cè)儀

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弗萊貝格儀器（上海）有限公司

德國(guó)

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產(chǎn)品介紹

桌面單點(diǎn)測(cè)量

低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。沒有內(nèi)置自動(dòng)化?？蛇x配手動(dòng)z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。

MDPspot可配電阻率測(cè)試選項(xiàng)。僅適用于硅，用于晶圓片，也可用于晶錠。

結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。

無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測(cè)試

對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測(cè)，具有可視化測(cè)試的**分辨率

對(duì)于不同級(jí)別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)

用于不同制備階段，從成體到*終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置。

體積小，成本低，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件，結(jié)果可視化。

適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。

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MDPspot單點(diǎn)壽命檢測(cè)儀

弗萊貝格儀器（上海）有限公司

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