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W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

鉑世光

型號(hào)：

W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

關(guān)注度：

425

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)特點(diǎn)：

·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合，來(lái)提高微波的均勻性

·穩(wěn)定沉積面積20cm²

·**功率達(dá)到6KW

·使用純凈的石英窗

·采用不銹鋼反應(yīng)腔，能耐高溫

設(shè)備的優(yōu)勢(shì)：

·反應(yīng)可控，能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作在6KW

·所有電子設(shè)備中采用微波，沒有電極放電，沒有金屬污染

·高功率高密度等離子體穩(wěn)定在離石英窗一定位置，減少硅的析出

·參照C/H/O比例表，對(duì)反應(yīng)物有更大的選擇余地

產(chǎn)品咨詢

W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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