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采用新型微波反應腔，有效沉積面積大而均勻；掀蓋式腔體開合，便利操作及腔體清潔，生產(chǎn)效率高，更加適用于批量化工業(yè)產(chǎn)品的制備；

定制類型

1.偏壓型 MPCVD設備，在標準型設備的基礎上（無任何功能刪減），可根據(jù)客戶要求提供不同偏壓范圍的定制型MPCVD設備。

2.微波頻率2450Mhz，**微波輸入功率15kw型MPCVD設備，可根據(jù)客戶要求，提供高功率MPCVD設備。

3.客戶提出的其他定制需求。