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型號

ELS-F125

ELS-F100

ELS-HS50

電子槍

ZrO/W 熱場發(fā)射槍

ZrO/W 熱場發(fā)射槍

ZrO/W 熱場發(fā)射槍

加速電壓

125 kV， 75 kV， 25 kV

100 kV， 50 kV， 25 kV

50 kV， 20 kV

*小束流直徑

Φ 1.7 nm (@ 125 kV)

Φ 1.8 nm (@ 100 kV)

Φ 2.8nm (@ 50 kV，1 nA)

*小線寬

5 nm or less (@125 kV)

6 nm or less (@100 kV)

20 nm (@ 50 kV， 2 nA)

電子束束流

5 pA to 100 nA

20 pA to 100 nA

1 nA to 1 μA

視場范圍

Max. 3，000 μm ｘ 3，000 μm

Max. 3，000 μm ｘ 3，000 μm

Max. 3，000 μm ｘ 3，000 μm

Min. 100 μm ｘ 100 μm

Min. 100 μm ｘ 100 μm

Min. 100 μm ｘ 100 μm

束流定位

Max. 1，000，000 ｘ 1，000，000 (20bit DAC)

Max. 1，000，000 ｘ 1，000，000 (20bit DAC)

Max. 1，000，000 ｘ 1，000，000 (20bit DAC)

束流定位分辨率

Min. 0.1 nm

Min. 0.1 nm

Min. 0.1 nm

大樣品尺寸

8" wafer or 7" square mask

8" wafer or 7" square mask

8" wafer or 7" square mask