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實(shí)驗(yàn)室家具
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其他
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藥物檢測專用儀器
石墨烯薄膜CVD設(shè)備
面議
山東力冠
石墨烯薄膜CVD設(shè)備
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產(chǎn)品概述/Product Introduction:
? 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分
This system is a complete graphene preparation system, including hardware and software
? 工作在常壓氣氛或真空條件,通過控制生長工藝,既可以生長出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?/p>
Working in normal pressure atmosphere or vacuum condition, by controlling the growth process, both hexagonal graphene single crystal and petal-shaped graphene single crystal can be grown
產(chǎn)品特點(diǎn)/Product Characteristics:
? 采用單腔室或雙腔室結(jié)構(gòu)
Adopt single chamber or double chamber structure
? 取料腔室快速冷卻
Rapid cooling of material taking chamber
? 該系統(tǒng)主要由電控系統(tǒng)、樣品加熱系統(tǒng)、工藝腔室系統(tǒng)、取放料系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)等組成
The system is mainly composed of electric control system, sample heating system, process chambersystem, material taking and discharging system, vacuum system, gas path system, pressure controlsystem and so on
? 結(jié)構(gòu)型式:臥式,間歇連續(xù)式自動控制
Structure type: Horizontal, intermittent continuous automatic control
? 適應(yīng)材料規(guī)格:A3尺寸
Suitable material specifications: A3 size
? 裝片量:200片
Loading capacity: 200 tablets
石墨烯卷對卷設(shè)備
石墨烯薄膜CVD設(shè)備
晶體提拉設(shè)備
LPE外延爐
真空退火設(shè)備
氧化/擴(kuò)散設(shè)備
PECVD 設(shè)備 臥式
LPCVD 設(shè)備立式
LPCVD 臥式
坩堝下降設(shè)備
SiC高溫退火設(shè)備
SiC高溫氧化設(shè)備
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
HSE系列等離子刻蝕機(jī)