粉體行業(yè)在線展覽
煤炭行業(yè)專用儀器
安全防護(hù)用品
電化學(xué)儀器
儀器專用配件
光學(xué)儀器及設(shè)備
試驗(yàn)機(jī)
X射線儀器
常用器具/玻璃耗材
氣體檢測(cè)儀
應(yīng)急/便攜/車載
動(dòng)物實(shí)驗(yàn)儀器
臨床檢驗(yàn)儀器設(shè)備
微生物檢測(cè)儀器
芯片系統(tǒng)
泵
分離/萃取設(shè)備
恒溫/加熱/干燥設(shè)備
清洗/消毒設(shè)備
液體處理設(shè)備
制樣/消解設(shè)備
磁學(xué)測(cè)量?jī)x器
燃燒測(cè)定儀
無(wú)損檢測(cè)/無(wú)損探傷儀器
半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器
紡織行業(yè)專用儀器
金屬與冶金行業(yè)專用儀器
專用設(shè)備
石油專用分析儀器
橡塑行業(yè)專用測(cè)試儀
3D打印機(jī)
環(huán)境試驗(yàn)箱
電子測(cè)量?jī)x器
工業(yè)在線及過(guò)程控制儀器
生物耗材
相關(guān)儀表
波譜儀器
輻射測(cè)量?jī)x器
水質(zhì)分析
成像系統(tǒng)
分子生物學(xué)儀器
生物工程設(shè)備
細(xì)胞生物學(xué)儀器
植物生理生態(tài)儀器
純化設(shè)備
合成/反應(yīng)設(shè)備
氣體發(fā)生器/氣體處理
實(shí)驗(yàn)室家具
制冷設(shè)備
測(cè)厚儀
測(cè)量/計(jì)量?jī)x器
實(shí)驗(yàn)室服務(wù)
其他
包裝行業(yè)專用儀器
建筑工程儀器
鋰電行業(yè)專用測(cè)試系統(tǒng)
農(nóng)業(yè)和食品專用儀器
危險(xiǎn)化學(xué)品檢測(cè)專用儀器
藥物檢測(cè)專用儀器
氧化/擴(kuò)散設(shè)備
面議
山東力冠
氧化/擴(kuò)散設(shè)備
452
產(chǎn)品概述/Product Introduction:
? 該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金和燒結(jié)等工藝
This equipment is one of the important process equipments in the front process of semiconductor production line, which is used for diffusion, oxidation, annealing, alloying and sintering in industries such as large-scale integrated circuits, discrete devices, power electronics, optoelectronic devices.
? 設(shè)計(jì)了硅片生產(chǎn)的多種工藝性能需要,具有生長(zhǎng)效率高、產(chǎn)品性能優(yōu)越的特點(diǎn)
The design takes into account various process performance requirements of silicon wafer production, and has the characteristics of high growth efficiency and superior product performance.
? 具有污染低、占地面積小、溫度均勻、可裝載晶圓尺寸大、工藝穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)
It has the advantages oflow pollution, small occupied area, uniform temperature, large wafer size and high process stabili-
? 主要用于初始氧化層、屏蔽氧化層、襯墊氧化層、犧牲氧化層、場(chǎng)氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝
Mainly used in the preparation process of various oxidation dielectric layers such as initial oxide layer, shielding oxide layer, gasket oxide layer, sacrificial oxide layer and field oxide layer.
石墨烯卷對(duì)卷設(shè)備
石墨烯薄膜CVD設(shè)備
晶體提拉設(shè)備
LPE外延爐
真空退火設(shè)備
氧化/擴(kuò)散設(shè)備
PECVD 設(shè)備 臥式
LPCVD 設(shè)備立式
LPCVD 臥式
坩堝下降設(shè)備
SiC高溫退火設(shè)備
SiC高溫氧化設(shè)備
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動(dòng)劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
Gasboard-2060
HSE系列等離子刻蝕機(jī)