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M82300-3/UM型PECVD鍍膜設(shè)備

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中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價：

面議

品牌：

電子科技

型號：

M82300-3/UM型PECVD鍍膜設(shè)備

關(guān)注度：

300

產(chǎn)品介紹

PECVD鍍膜設(shè)備即等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積設(shè)備，是利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。

M82300-3/UM型五管PECVD設(shè)備既可用于淀積電池片正面氧化硅減反射膜，也可用于淀積電池片背面鈍化膜。

硅片尺寸可從166mm兼容到220mm;
單管載片量可到680片，雙舟設(shè)計(jì)；
輔助加熱技術(shù)，可大幅改善工藝均勻性；
具備背面氧化鋁工藝能力。

產(chǎn)品咨詢

M82300-3/UM型PECVD鍍膜設(shè)備

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