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德國弗萊貝格儀器Quatrz XRD——石英晶體X射線衍射儀主要應用于對石英棒、硅片和坯料進行生產(chǎn)質(zhì)量控制。而根據(jù)樣品對象的不同，Quatrz XRD可以分為Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自動石英棒定向儀、全自動石英晶圓盤分析儀和全自動石英晶片分選儀三種型號。

全自動石英棒定向儀▼

樣品：石英棒

特點：

完全自動化的吸收和校準石英棒

自動上膠轉(zhuǎn)接器板

校準精度：±0.5°(AT & TF)

全自動石英晶圓片分析儀▼

樣品：

圓形，長方形和正方形

4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工處理樣本)

20 x 20毫米至80 x 80毫米(自動樣本處理)

特點：

空間質(zhì)量檢查的映射圖選項

模塊化設(shè)計，支持未來的自動化升級

用于輸入/輸出的標準樣品盒：盒式或疊式

可用排序函數(shù)

產(chǎn)量：在標準分選精度下，可高達350片/小時

全自動石英晶片分選儀▼

樣品：

圓形，長方形和正方形

4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工處理樣本)

1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自動化選項一)

4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自動化選項二)

特點：

質(zhì)量分組：±7.5 arcsec

吞吐量：在標準分揀精度下，每小時可處理高達1000個晶片