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產(chǎn)品介紹

美國(guó)OAI成立至今已有35年歷史，在光源制造和測(cè)量方面一直處于****領(lǐng)域。

OAI光源以工作穩(wěn)定，出光效率高，高均勻性和散射角小著稱。且可提供20inch以上的大面積光源。 OAI光功率計(jì)在工業(yè)上有廣泛應(yīng)用，包括NIKON，CANON，ASM等知名光刻機(jī)制造商均使用OAI光功率計(jì)。

OAI也生產(chǎn)光刻機(jī)，尤其是OAI MODEL 800系列雙面曝光機(jī)，在世界范圍內(nèi)有著非常廣泛的應(yīng)用。

OAI MODEL 800MBA

雙面對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)

曝光模式接近、軟/硬接觸、真空接觸

掩膜尺寸**9"x9"

**適合200mm晶圓曝光

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