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TWINSCAN XT:400G 365 nm步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種超高生產(chǎn)率的雙級光刻工具，專為350 nm分辨率的300 mm晶圓批量生產(chǎn)而設(shè)計。TWINSCAN平臺的雙晶圓級技術(shù)使一個晶圓的曝光和下一個晶圓的對準(zhǔn)和映射能夠并行進(jìn)行，從而實際上消除了開銷時間，并允許晶圓的連續(xù)圖案化。

此外，高強(qiáng)度5.5千瓦汞燈和快速工作臺通過**限度地減少每個場的曝光掃描時間和場之間的步進(jìn)時間，確保了**的生產(chǎn)率。液位傳感器與TWINSCAN調(diào)平方法相結(jié)合，實際上消除了內(nèi)模和邊緣模之間的差異，并確保整個300 mm晶圓的高成品率。高通量和產(chǎn)量與快速的十字線交換時間和批量流相結(jié)合，以提供*低的運營成本。

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