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熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF700

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北京泰科諾科技有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

北京泰科諾

型號：

熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF700

關(guān)注度：

297

產(chǎn)品介紹

設(shè)備名稱：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備

設(shè)備型號：HF700

真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷

真空腔室尺寸：Φ700mmxH700mm

真空系統(tǒng)：高真空泵組系統(tǒng)

基片臺尺寸：350mm2×350mm2 方形基片臺（旋轉(zhuǎn)、升降可選）

襯底溫度：600 ～ 1100℃

產(chǎn)品咨詢

熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF700

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