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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

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中國

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毅睿/芯壹方

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定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)第2頁-7.PNG

Description:

●微波頻率:2.45±0.025 GHz

●微波功率:≥3 KW連續(xù)可調(diào)

●可實(shí)現(xiàn) <+/-3% 的均勻沉積

●氣體:SiH₄,NH₃, N₂O, Ar, N₂, CF_4，O₂...

●極限壓力:≤1X10^-3 Torr

●尺寸:8英寸晶圓

●用途:SiO_2，Si_xN_x...etc.,

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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

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