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定制-RTR濺鍍

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毅睿/芯壹方

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RTR濺鍍

RTR濺鍍第6頁-24.PNG

RTR濺鍍第6頁-22.PNG RTR濺鍍第6頁-23.PNG

主輥直徑	1,000mm(φ) x600/1500mm(D)
真空室	5 chambers (Unwind、Pre-Heat、 Coating 、Cooling 、Rewind
有效涂層寬度	1,350mm/500mm
厚度	15~250μm
速度	0.5~20M/min
傳輸張力	2~7Kg @1~3 m/min
對(duì)準(zhǔn)	≤±2mm@1~3m/min
濺射材料	ITO 、Nb?O₅,、SiO₂、Si、Nb_zOX、Cu
厚度均勻性	≤±3%
靶材利用率	70%
陰極	Rotatable cathode 4~ 6 sets

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