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離子束濺射沉積系統(tǒng)

定制-離子束濺射沉積系統(tǒng)

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廈門(mén)毅?？萍加邢薰?/p>

中國(guó)

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毅睿/芯壹方

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定制-離子束濺射沉積系統(tǒng)

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離子束濺射沉積系統(tǒng)

離子束濺射沉積系統(tǒng)第8頁(yè)-31.PNG

Description:

●低壓濺鍍沉積(10^-4Torr)

●高質(zhì)量、平滑、無(wú)針孔無(wú)針孔薄膜

●可實(shí)現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積

●增強(qiáng)的附著力和微觀結(jié)構(gòu)控制

●**的覆蓋效果高寬比特征

●獨(dú)立控制離子束參數(shù)，使用戶能夠設(shè)計(jì)薄膜以獲得所需的特性

●低能量離子輔助端霍爾離子源

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離子束濺射沉積系統(tǒng)

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