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電子束系統(tǒng)

定制-電子束系統(tǒng)

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廈門毅睿科技有限公司

中國

產(chǎn)品規(guī)格型號

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品牌：

毅睿/芯壹方

型號：

定制-電子束系統(tǒng)

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電子束系統(tǒng)

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Description:

●專為金屬、電介質(zhì)、氧化物、半導(dǎo)體和合金的沉積而設(shè)計(jì)，用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和試生產(chǎn)應(yīng)用

●可配置離子束清洗和離子輔助沉積(IAD)的離子源

●可實(shí)現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積

●系統(tǒng)可配備不同的真空泵，用于高壓和超高壓

●多功能、操作簡便、長期可靠，適用于單層和多層薄膜蒸發(fā)

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