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超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)

定制-超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)

直接聯(lián)系

廈門毅??萍加邢薰?/p>

中國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

毅睿/芯壹方

型號:

定制-超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)

關(guān)注度:

45

產(chǎn)品介紹

超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)

超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍?yōu)R鍍系統(tǒng)第11頁-38.PNG超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍?yōu)R鍍系統(tǒng)第11頁-39.PNG超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍?yōu)R鍍系統(tǒng)第11頁-40.PNG超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍?yōu)R鍍系統(tǒng)第11頁-36.PNG超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍?yōu)R鍍系統(tǒng)第11頁-37.PNG


Description :

●UHV 多腔體:Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,

基板:多片/單片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寸

單片,多片承載裝置Cassettes,可程式自動選擇及傳輸

真空度:UHV 10-9 Torr

自動傳輸,自動制程設(shè)定...etc.,


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