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濺鍍系統(tǒng) (芯壹方)

定制款-濺鍍系統(tǒng)

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廈門(mén)毅??萍加邢薰?/p>

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毅睿/芯壹方

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定制款-濺鍍系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹

濺鍍系統(tǒng)


濺鍍系統(tǒng)第9頁(yè)-32.PNG

濺鍍系統(tǒng)第9頁(yè)-33.PNG



?        濺鍍系統(tǒng)?主要由以下幾個(gè)部分組成:真空室、排氣系統(tǒng)、濺射源和控制系統(tǒng)。其工作原理分為抽真空、輝光放電和濺射三個(gè)階段。首先,通過(guò)抽氣系統(tǒng)將真空室內(nèi)的空氣抽出,達(dá)到所需的真空度;然后,通過(guò)高壓電離室內(nèi)氣體產(chǎn)生等離子體;*后,高能粒子轟擊靶材表面,使靶材表面的原子被濺射出來(lái),沉積在基片上形成所需膜層?

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