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非接觸式可靠性MApping測量系統(tǒng)COREMA-WT提供無損全晶圓電阻率表征，具有極高的精度，分辨率和測量速度。它基于德國弗賴堡Fraunhofer應用固態(tài)物理研究所開發(fā)的非接觸電容技術(shù)。對于確定晶片橫向均勻性的制造工藝步驟的詳細但快速的生產(chǎn)兼容控制是*有價值的。***地支持探索性流程優(yōu)化。

晶片上方和下方的電容金屬電極通過快速且精確的xy平移定位。他們在所需的測量點定義了本地樣品和空氣電容器。將充電電壓步驟施加到RC電路并記錄動態(tài)電荷再分配。從初始和*終電荷值和弛豫時間獲得電阻率。由于基于**原理的評估僅使用相對單元并且因為所有幾何參數(shù)抵消，所以以**單位獲得電阻率值而不涉及任何儀器校準因子?？梢允褂脴藴蕼y試方法文檔（DIN 50447）。

單個測量只需要幾分之一秒。因此，在非常可接受的時間內(nèi)獲得完整的晶片形貌。例如，記錄和評估在數(shù)據(jù)點之間具有1.4mm步長的100mm直徑的晶片形貌圖大約需要20分鐘。

該系統(tǒng)通常由供應商和客戶用于半絕緣晶片的常規(guī)生產(chǎn)控制和質(zhì)量評估。電阻率測量范圍為1E6至1E9Ωcm的標準系統(tǒng)優(yōu)先用于GaAs和InP。對于SiC和GaN，可提供具有1E5至1E12Ωcm擴展范圍的系統(tǒng)。

完整的測量過程，包括數(shù)據(jù)評估和專業(yè)演示，由基于Microsoft Windows的用戶友好型軟件支持和控制。軟件界面包括設置所需的測量程序，在線監(jiān)控測量過程，顯示地形數(shù)據(jù)和詳細的統(tǒng)計評估。提供各種地形顯示，包括灰度，彩色編碼以及偽3D表示，提供令人信服的，以客戶為導向的產(chǎn)品質(zhì)量以及評估和規(guī)范驗證。

SemiMap分析系統(tǒng)：

其他半導體測量系統(tǒng)

超高半導體電阻率測量

產(chǎn)品名稱：SemiMap Analytical Systems

產(chǎn)品編號：COREMA-WT

制造商：SemiMap Scientific Instruments GmbH

介紹：

測量范圍1x106 1x109Ohm*cm

探頭尺寸1mm 直徑

重復性優(yōu)于1％

邊緣排除2.5mm

電阻率評估時間270 ms @ 1E7 Ohm * cm，包括1 mm步進轉(zhuǎn)換時間

晶圓評估時間為20毫米晶圓和1.4毫米x 1.4毫米步長20分鐘

溫度校正基于卡盤的電阻率溫度測量

歸一化到指定的溫度